一、產(chǎn)品介紹：
1、靈活的探測，4步工作流程，高級的分析性能
將高級的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，利用成熟的 Gemini 電子光學(xué)元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma 半自動的4步工作流程節(jié)省大量的時(shí)間：設(shè)置成像與分析步驟，提高效率。
2、用于清晰成像的靈活探測
利用*探測術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。
利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。
利用新一代的二次探測器，獲取高達(dá)50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對比度的銳利的圖像。
3、自動化加速工作流程
4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。
首先，先對樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。
接下來對樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動采集圖像。后使用工作流程的后一步，將結(jié)果可視化。
4、高級分析型顯微鏡
將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。
在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。
獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。
5、基于成熟的 Gemini 技術(shù)
Gemini 鏡頭的設(shè)計(jì)結(jié)合考慮了電場與磁場對光學(xué)性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。
Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時(shí)減少成像時(shí)間。
Gemini 電子束加速器技術(shù)確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。
6、用于清晰成像的靈活探測
利用新的探測技術(shù)表征所有的樣品。
在高真空模式下利用創(chuàng)新的 ETSE 和 in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。
在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。
利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。
利用 BSD 或者 YAG 探測器進(jìn)行成份分析。
二、產(chǎn)品原理
德國蔡司掃描電鏡是一種高分辨率顯微鏡，它使用電子束而不是光束來形成樣品的圖像。其工作原理如下：
1. 電子源：蔡司掃描電鏡使用熱陰極或場發(fā)射電子槍產(chǎn)生高能電子束。
2. 準(zhǔn)直系統(tǒng)：通過準(zhǔn)直系統(tǒng)將電子束聚焦成細(xì)小且平行的束流。這個(gè)系統(tǒng)包括透鏡和電磁透鏡等組件。
3. 樣品與激發(fā)：樣品被放置在真空室中，并用導(dǎo)電材料涂覆以避免電荷積累。當(dāng)電子束與樣品表面相互作用時(shí)，會發(fā)生各種相互作用過程，如透射、反射、散射和次級電子發(fā)射等。
4. 探測系統(tǒng)：蔡司掃描電鏡采用多種探測器來檢測樣品與電子束之間的相互作用。最常見的探測器包括二次電子檢測器(SE)、能量散布譜儀(EDS)和后向散射電子檢測器(BSE)。
5. 掃描：電子束通過掃描線圈控制，在樣品表面進(jìn)行掃描，通過測量不同位置的電子信號來構(gòu)建圖像。
6. 信號處理和圖像生成：接收到的電子信號經(jīng)過放大、濾波和數(shù)字化處理后，被轉(zhuǎn)換成亮度或灰度值，并在顯示器上以二維圖像形式呈現(xiàn)。
德國蔡司掃描電鏡的工作原理基于電子與物質(zhì)相互作用的原理，通過探測電子與樣品之間的相互作用產(chǎn)生的信號來獲取高分辨率的樣品表面形貌信息。這種工作原理使得蔡司掃描電鏡在科學(xué)研究、材料分析和納米技術(shù)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。
三、配件：
SmartEDX
為您帶來一體化能譜分析解決方案
如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就需要在SEM中采用能譜儀(EDS)來進(jìn)行顯微分析。通過針對低電壓應(yīng)用而優(yōu)化的能譜解決方案，您可以獲得元素化學(xué)成分的空間分布信息。得益于：
1.優(yōu)化了常規(guī)的顯微分析應(yīng)用，并且由于氮化硅窗口的透過率，可以探測輕元素的低能X射線。
2.工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面地改善了易用性，以及多用戶環(huán)境中的重復(fù)性。
3.完整的服務(wù)和系統(tǒng)支持，由蔡司工程師為您的安裝、預(yù)防性維護(hù)及保修提供一站式服務(wù)。
拉曼成像與掃描電鏡聯(lián)用系統(tǒng)：
*集成化的拉曼成像
在您的數(shù)據(jù)中加入拉曼光譜及成像結(jié)果，獲得材料更豐富的表征信息。通過擴(kuò)展蔡司Sigma 300，使其具備共聚焦拉曼成像功能，您能夠獲得樣品中的化學(xué)指紋信息，從而指認(rèn)其成分。
1.識別分子和晶體結(jié)構(gòu)信息
2.可進(jìn)行3D分析，在需要時(shí)可關(guān)聯(lián)SEM圖像、拉曼面掃描成像和EDS數(shù)據(jù)。
3.*集成RISE讓您體驗(yàn)由*SEM和拉曼系統(tǒng)帶來的優(yōu)勢。
產(chǎn)品型號：Sigma 系列